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教學(xué)實(shí)訓(xùn)設(shè)備Teaching Equipment

YG-MCL型少子壽命測試儀

少子壽命測試儀配備有紅外光源,可測量包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命

一、概述

少子壽命測試儀配備有紅外光源,可測量包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命

二、技術(shù)指標(biāo)

1、儀器測試精度:≤±0.5%;

2、可測少子壽命范圍:0.1μs~7000μs;

3、測試電阻率范圍:≥0.1Ωcm 可擴(kuò)展到0.01Ωcm;

4、配備光源類型:波長:980±30nm;

5、高頻振蕩源:用石英諧振器,振蕩頻率:30MHz;

6、前置放大器:放大倍數(shù)約25,頻寬2Hz~1MHz;

7、測量方式:采用對標(biāo)準(zhǔn)曲線讀書方式。

 

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